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洁净知识
洁净室定义:洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等的污染物排除,并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在的空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
 
洁净室的空气洁净度的三种状态:
空态:设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料及人员;
静态:设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无人员。
动态:设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状况下进行工作。
 
洁净室的分类:
1)工业洁净室:
以非生物微粒(或称为无生命微粒)为控制对象。主要控制非生物微粒对工作对象产生污染。其受控环境一般保持正压,防止外界微粒进入。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)、宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、印刷工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
2)生物洁净室:
以生物微粒(或称为有生命微粒)为控制对象,可分为:
一般生物洁净室:主要控制有生命微粒(如菌类,原生动物、细菌和病毒等)对工作环境及工作对象的污染。其受控环境一般保持正压。例:制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
隔离式生物洁净室:以防止微生物(有生命的微粒)外逸为控制目的。受控环境处于“负压”状态,即负压送风,过滤排风,一般不采用回风。主要控制工作对象是有生命的微粒,防止其对外界和人体产生伤害。例:细菌学、生物学、洁净实验室、生物工程(重组基因、疫苗制备)等。
 
洁净室的气流流型:
单向流:沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。
非单向流:凡不符合单向流定义的气流。
混合流:单向流和非单向流组合的气流。
 
洁净室的构成:
结构系统:彩钢板、吊杆、钢梁、天花板格子梁、窗户、门等。
空调系统:空调主机、空气处理箱、过滤器系统、风机、水泵等。
电气系统:日光灯、LED灯、黄光灯、开关插座、配电箱等。
地板类别:环氧树脂地板、PVC地板、高架地板或防静电地板等。
洁净厂房系统图
工业洁净室与生物洁净室的区别:

比较项目
工业洁净室
生物洁净室
研究对象
(主要)
灰尘、粒子只有一次污染。
微生物、病菌等活的粒子不断生长繁殖,会诱发二次污染(代谢物、粪便)。
控制方法
净化措施
主要是采取过滤方法。粗、中、高三级过滤,粗、中、高、超高四级过滤或化学过滤器等。
主要是采取:铲除微生物生长的条件,控制微生物的孳生、繁殖和切断微生物的传播途径。过滤和灭菌等。
控制目标
控制有害粒径粒子浓度。
控制微生物的产生、繁殖和传播,同时控制其代谢物。
对生产工艺
的危害
关键部位只要一颗灰尘就能造成产品的极大危害。
有害的微生物达到一定的浓度以后才能够造成危害。
对洁净室建筑
材料的要求
所有材料(墙、顶、地等)不产尘、不积尘、耐磨擦。
所有材料应耐水、耐腐且不能提供微生物孳生繁殖条件。
对人和物进入的控制
人进入要换鞋、更衣、淋浴、灭菌;物进入要擦拭、清洗、灭菌;空气送入要过滤、灭菌,人物分流,洁污分流。
检测
灰尘粒子可用粒子计数器检测瞬时粒子浓度并显示和打印。
微生物检测不能测瞬时值,须经48小时培养才能读出菌落数量。

工业洁净室(ICR)之洁净度与适用和分类表

洁净度
产业别
洁净度(≥0.5μm,个/ft3
1
10
100
1000
10000
100000
300000
LSI制造工程
 
 
 
 
 
LSI组立检查工程
 
 
 
 
 
(矽)单结晶
 
 
 
 
 
 
 
照像光罩photo mask
 
 
 
 
光阻涂膜photoresist
 
 
 
 
一般液晶(tn,stn)
 
 
 
 
 
 
 
显示用液晶(tft,mim)
 
 
 
 
 
投影用液晶(tft)
 
 
 
 
 
混合(hybrid)IC
 
 
 
 
 
 
 
印刷基板材料
 
 
 
 
 
 
印刷配线板
 
 
 
 
 
 
 
电晶体、二极体
 
 
 
 
 
精密电子部品
 
 
 
 
 
 
磁头
 
 
 
 
 
 
 
磁碟
 
 
 
 
 
电脑、磁碟装置组立
 
 
 
 
 
 
录影带、光碟
 
 
 
 
 
照像底片
 
 
 
 
 
 
光织
 
 
 
 
 
 
 
精密轴承
 
 
 
 
光学镜片
 
 
 
 
 
 
半导体制造装置
 
 
 
 
 
洁净管及阀类
 
 
 
 
 
LSI制造用化学药品
 
 
 
 
 
精密测定机制造
 
 
 
 
 
 
清洗无压衣
 
 
 
 
 
 
印刷、制版
 
 
 
 
 
 
 

生物洁净室(BCR)之洁净度与适用和分类表

洁净度
产业别
洁净度(≥0.5μm,个/ft3
1
10
100
1000
10000
100000
(医药品)
 
 
 
 
 
 
抗生物质
 
 
 
 
 
 
注射药
 
 
 
 
 
 
血清
 
 
 
 
 
 
药剂包装过程
 
 
 
 
 
医疗用器具
 
 
 
 
 
(病院)
 
 
 
 
 
 
无菌手术室
 
 
 
 
 
 
手术室
 
 
 
 
 
无菌病室
 
 
 
 
 
 
调剂室
 
 
 
 
 
 
(食品)
 
 
 
 
 
 
牛乳·乳制品
 
 
 
 
 
食肉·食肉加工
 
 
 
 
 
炼乳制品
 
 
 
 
 
 
清酒·酒类
 
 
 
 
 
 
糕饼·豆腐
 
 
 
 
 
 
制果·面包
 
 
 
 
 
(动物实验)
 
 
 
 
 
 
饲养区
 
 
 
 
 
隔离区
 
 
 
 
 
 
其他
 
 
 
 
 
 
磨茹·菌类培养
 
 
 
 
 
观叶植物培养
 
 
 
 
 
化妆品